(1)光切法顯微鏡可使用測微目鏡表面粗糙度的實測平均相對高度值RZ，以及粗糙度的平均相對高度值RZ對表面粗糙度等級的影響按中國標準。

在精確測量中，精確測量的表面積不小于五個峰。

為了合理、快速地進行精確測量，需要根據所列數據選擇物鏡。

(2)待檢工件的放置和顯微鏡的聚焦

1.待檢工件放在工作臺上時，表層的加工線應平行于顯微鏡的直光軸平面，即垂直于間隙像。并使精確的測量面平行于控制臺平面(精確到1)；圓柱形或圓錐形工件可以放在工作臺的V形塊上。

2.選擇合適的物鏡，插在滑板上。拆卸物鏡時，先按下手柄。插入所需物鏡后，放松手柄即可。

3.連接電源變壓器和照明燈，調整粗調手輪和微調手輪，使其聚焦在精確的測量平面上，使視野中出現清晰的間隙圖像和表面輪廓圖像。如果間隙邊緣圖像(下邊緣)和表面輪廓圖像不能同時清晰，可以稍微轉動手輪。正常情況下，請不要轉動。

4.松開測微目鏡的緊固螺釘，轉動測微目鏡使水平線水平，并用螺釘將其固定在此位置。此時，目鏡中十字線的移動方向與間隙圖像形成45°角。之后，就可以進行表面輪廓平整度的精確測量。

注意:為了合理地對圓柱體進行精確測量，必須同時調整手術臺和顯微鏡，使顯微鏡能夠準確地聚焦在圓柱體頂部的母線上。因此，需要使手術臺垂直于圓柱體的軸線(平行于加工條紋)移動，必要時再次對顯微鏡進行對焦。

(3)輪廓平面度的精確測量

為了準確測量表面輪廓的平面度，需要使間隙的平行分割水平線與間隙的清晰邊緣(下邊緣)的高點相切。然后在目鏡分劃板和千分尺筒上記下讀數，再使水平線的水平線與窄間隙清邊的低點相切，第二次記下分劃板和筒的讀數。

(4)帶有輔助物鏡的物鏡放大率

為了確定物鏡的放大率V，在進行輪廓面的精確測量時，需要用0.01mm的標準比例尺進行精確測量。首先將標準刻度尺放在儀器的工作臺上，調整標準刻度尺刻線使其在目鏡視場內成像清晰，使刻線與間隙像垂直，刻線水平線的移動方向與間隙像平行。然后將刻線板水平線的交點對準標準尺的一端，根據測微目鏡的刻線板和千分尺鼓進行讀數。將水平線的交點移到標準刻度的另一端，然后用同樣的方法進行二次讀數。此時，測微目鏡的兩個讀數之差與標準刻度的選定部分的刻度數之比是顯微鏡物鏡的放大率v。

(5)拍攝表面微觀輪廓

為了在光切法顯微鏡上開發微觀剖面。