在意義上,基于光切原理測量表面粗糙度的方法稱為光切法,是測量工件上表面的微小峰谷深度等一系列問題。這種方法可以使表面接觸平行于光束,然后利用光帶的角度投射到表面上進行測量。但是你會發現會有一些微觀的幾何變化,這就是光切原理的現象。
我們可以用表面輪廓的波峰和波谷之間的較大和較小高度來衡量,而在這個過程中,物鏡的分辨率和陰影深度可能是有限的。然而,該峰和谷的高度在一定范圍內,在目鏡中,你可以清楚的看到真實的圖像,但是你無法測量,測量誤差會很大,所以我們用這種成本低,作業簡單的方法,很常見。這就是光切的原理。
光切法顯微鏡是根據光切原理制成的。它是用光切法測量和觀察機械制造中零件已加工表面微觀幾何形狀的表面粗糙度測量儀器。主要用于測量規則曲面的高度特征參數Rz和Ry,以及間距特征參數S和Sm。然而,為了測量截面輪廓的微凹凸深度和槽寬的實際尺寸,需要在目鏡視場中獲得被測表面的實物圖像,這是每個作業者面臨的問題。眾所周知,成像質量會直接影響測量精度。
物鏡的合理選擇和安裝
光切法顯微鏡配有四對不同放大率的物鏡,每對物鏡都有一定的測量范圍。測量前,根據被測零件的表面粗糙度,選擇合適的物鏡,插入儀器的V型槽中。只有選擇合適的物鏡,儀器的表面粗糙度才能與物鏡的成像深度相適應,否則會產生較大的焦距誤差。
指出當測量結果接近更高倍率物鏡的測量范圍時,應選擇更高倍率的物鏡進行復測。
通常來說,光切法顯微鏡的照明物鏡和觀察物鏡是可以互換的,對測量沒有影響;然而,某些類型的光切顯微鏡是不同的,它們的照明物鏡和觀察物鏡的光學參數也不相同。這時要注意按照廠家說明使用。
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