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光切法顯微鏡的作用有多大?
- 2020-09-16-

光切法顯微鏡是應用計算機輔助測量的新一代光切法工具顯微鏡,能解決各種復雜的二維測量問題。

光切法顯微鏡可以測量零件的長度、角度、螺紋等諸多幾何量參數,是長度計量檢測中使用較多的一種測試儀器,因此廣泛應用于機械加工業的各類企業。但隨著現代工業的發展以及科技的進步,傳統的老式萬工顯已難以滿足要求,因此很有必要對其進行技術改造。

一、數顯系統的改型

二、數顯系統的安裝

三、數顯系統的調試

四、數顯系統的檢定

根據萬工顯檢定規程中的相關規定,需要檢定讀數裝置的示值誤差、讀數裝置的回程誤差和示值誤差。

(1)讀數裝置的示值誤差檢定

對數顯系統來說,讀數裝置的示值誤差就是數顯表的小分辨率,即±0.5μm,無須檢定。

(2)讀數裝置的示值誤差的檢定(相當于磁柵尺的重復性)

光柵尺讀數裝置就其構造和原理來說是沒有回程誤差的,當然這需要很高的工藝水平做保證通過用0.1μm的電感測微儀反復測試,光柵尺讀數裝置的回程誤差大不超過0.5μm

(3)示值誤差的檢定(相當于磁柵尺的準確性)

用檢定極限誤差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作為標準,按照規程規定的條件方法對縱、橫向分別進行檢定;若沒有玻璃刻度尺,可用光切法工具顯微鏡原有的刻度尺與光柵尺進行比較檢定,并用儀器原有的示值誤差進行修正,以確定光柵尺各被檢點的實際誤差,若有超差再用線性補償系統進行補償。

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